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这是为了精确清洁和干燥8英寸SMIF POD而开发的前端操作方法的手动设定方法。
CP-2200是一种清洁和干燥设备,适用于研究用途,中试线等,具有半导体设备和先进技术的容器清洁设备制造商独有的先进知识。
CP-2200也可以使用盒式清洁/干燥等。
●SMIF箱,同时纯水射流清洗,基部内表面的气刀暖风干燥的盖部的内表面和外表面
●吊舱旋转时,设置在靠近喷嘴的精密清洗,干燥
●除了洗涤少量期间纯净水引流到预防细菌的产生
操作方便通过●触摸屏
●序器系统通过控制器
●友好的操作者的各种安全装置
●维修方便
可以是各种各样的设计能够满足需求的办法●
设定方法 | 手册 | |
处理目标 | 8英寸SMIF POD / 8英寸盒式磁带 | |
处理时间 | 1套/ 15分钟 | |
外部尺寸 | 1300(宽)x 70(长)x 1580(高)毫米(当室门打开时) | |
重量 | 300公斤 | |
电源 | 3相,200 VAC(带接地),8 KVA,50/60 Hz | |
纯净水 | 流量 | 10升/分钟(低要求流量) |
压力 | 0.1 Mpa | |
CDA (干净的干燥空气) |
流量 | 1600 NL / min |
压力 | 0.7 Mpa | |
排气 | 发动机排量 | 2000 NL / min或更高 |
引流 | 流量 | 40升/分钟以上 |