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○ 产品介绍
一体式CVD系统设计紧凑,使用方便。特别是丰富的图文界面,即使您是第一次操作,该系统也能顺利引导您很快掌握该CVD系统的使用和操作,您根本无需专业学习,为您节省大量的科研时间,真正做到事倍功半!
○ 适用范围
可以满足日常的大多数CVD实验和各种科研要求。是材料制备过程中的理想之选。
○ 产品特点
1、丰富的图文信息:全尺寸液晶图文界面
2、系统高度集成:各个部分均由软件协同进行数据采集、交换、处理、输出
3、可使实验步骤程序化、自动化
○ 技术参数
工作电压:AC220/AC110V
工作频率:50Hz/60hz
工作温度:25℃~1100℃
测量精度:0.1℃
控温精度:±1℃
加热区长:400mm
恒温区长:200mm
射频频率:13.56MHz
射频功率:0~500W(可调节)
匹配模式:自动匹配
气体通道:3通道
气体测量:质量流量计
量程范围:0~500SCCM
真空设备:分子泵组
真空测量:复合真空计
○ 免责声明
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