SIMCO离子发生器4214 SIMCO 4214

SIMCO离子发生器4214

Simco-Ion 沿线超高洁净氮气离子产生器型号 4214 是特别为了电离氮气而设计，能把电离氮气的离子送至超高洁净要求

的半导体和其他高纯洁净度的制程。一般市面上的氮气离子产生器都要求在氮气流内加进少许气体以产生离子，而这个先进工艺的离子产生器采用一个小而高效的电源，就可电离氮气。

型号 4214 离子产生器利用高频交流电离技术，能提供快速的消散时间，有效地中和静电。微控处理和细小体积，能容易整合需要氮离子产生器的设备。超高洁净的设计和内置微粒采集系统，能确保是*干净的离子产生器，兼容和提供要紧半导体制程的静电中和。只需提供不间断的氮气通过型号 4214，产生的氮离子就能满足 Extended ISO Class 1 洁净度，适合在 22 nm 和以下的所有晶圆技术制程工作。

• Extended ISO Class 1 洁净度*	• 提供*洁净的离子产生器以符合超高洁净要求的制程，是在22
• 警报显示 - 低离子输出量需维护，高压电源失效，低气体流量	nm和以下的所有晶圆技术中*理想的静电中和工具
• 待机模式	• 恒常监控离子产生器的工作，以保障连续工作和维持在*理想的
• 自我平衡	效能
• 气流量过低时自动关机	• 在待机模式下可减少用气量，又可快速启动离子产生器，迅即可
• 体积小巧	工作
• +24 VDC 电源输入	• 免除调较和繁琐的设定
• 避免损害产品	• 是针对设备内有限的安装空间而设计
* 请看后页有关 Extended ISO Class 1 洁净度的定义	• 可轻易整合和利用设备上的电源

为了满足现今更微小的先进技术制程，Simco-Ion 自定义了一个标准 - “Extended ISO Class 1”，它是用 ISO
14644-1 为基础，然后延伸到 >0.01 micron (>10 nm) 微粒，和使用典型的凝聚核计数器 Condensation Nucleus
Counter (CNC) 作测量。延伸方程式是以 ISO 14644-1Class 所定义的，和利用它的洁净度极限线集来作外延。当外
延时，相等和大于 0.01 micron 的微粒的容许数量是 1200particles/m3 (34 particles/ft3)。Simco-Ion 没有更改 ISO
14644-1 标准，只是延伸方程式至更微细的微粒，更多关于ISO 14644-1 的资料

型号 4214 离子产生器是一个独立的器件，能提供高压电源，有超洁净的离子产生元件，和界面接口可作遥控监察工作情况和控制离子产生，全都在安放在4214 小盒子内。用户把氮气输入 4214，所产生的离子就可送到静电敏感区或所需的制程，客制复合管道或喷嘴可对应覆盖面积要求而设计。