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规格参数:
测量范围:
X向行程:200㎜ 圆工作台直径:φ213㎜
Y向行程:100㎜ 平工作台尺寸(㎜):260×270
测角目镜角度分划范围:360° 顶针间的最大夹紧长度:700㎜
螺纹轮廓目镜角度分划范围:±7° 顶针间能容纳的最大直径:φ100㎜
圆工作台角度分划范围:0°~360° 高顶针架最大夹紧长度:200㎜
圆分度头角度分划范围:0°~360° 高顶针架能容纳的最大直径:φ250㎜
主显微镜立柱的倾斜范围:±12° 干涉狭缝旋转范围:±90°
分度值:
X、Y向分度值:0.0002㎜ 圆工作台角度分度值:30″
测角目镜角度分度值:1′ 圆分度头角度分度值:1′
轮廓目镜角度分度值:±12 主显微镜立柱倾斜角度分度值:30′
测量准确度(被测件与仪器温度差别不大于0.5℃,仪器室内温度20℃±1℃):
(1+L/100)μm,其中L为测量长度,单位:㎜
物镜放大率,工作距离及视场直径:
物镜放大率 |
总放大率 |
工作距离(㎜) |
视场直径(㎜) |
1× |
10× |
≈79 |
≈26.70 |
3× |
30× |
≈69 |
≈6.7 |
5× |
50× |
≈49 |
≈4 |
光学定位器的主要技术参数:
测杆垂直方向摆动范围:±3° 定位变动性:<1μm
孔径大于5㎜时,可测孔的最大深度:≈15㎜ 测力(N):0.1±0.03
测量范围(㎜):5-200
仪器主机外形尺寸(㎜)长×宽×高=1300×1250×80
仪器主机重量:450㎏