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FRT薄膜厚度测量仪
薄膜层厚测量传感器 FTR
薄膜层厚测量传感器FTR为专用的膜层测量仪器,通过于MicroProf型MicroGlider 型结合使用,可应用于各种高精度的测量场合,其层厚分辨率可达1nm;非接触无损测量更拓宽了其应用场合;如光学镀膜加工(膜层厚度、消光系数等参数);半导体硅片表面膜层分析;氧化表面微细分析、漆膜等等
薄膜层厚测量传感器FTR技术参数:
测量原理 | 反射测量(非接触) | ||||
光源 | 卤素灯 | 氚-卤素灯 | |||
波长范围 | 400—850nm | 650—1100nm | 400—1100nm | 250nm—850nm | 250—1100nm |
层厚测量范围 | 50nm-20um | 70nm-70um | 50nm-100um* | 10nm-20um | 10nm-70um |
层厚分辨率 | 1 nm | ||||
X,Y轴分辨率 | 0.1um |
注:*----可选1um—250um