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光伏芯片扩散制程上下货及检测系统

价格： 面议

产品型号：Model 3775

公司名称：苏州天仪科创机电科技有限公司

所在地：江苏苏州

发布时间：2013-07-22

联系人：吴先生

联系电话：051265580519

苏州天仪科创机电科技有限公司

产品简介

通常用于芯片磷扩散的炉管制程。在扩散制程中致茂可提供客户使用短版的晶舟， 或长版晶舟来上下载具的传输设备。芯片的传送使用高速富挠性的取放机器人。致茂在扩散过程中提供的载具传输设备，低破片率，高产量和低成本可满足客户的扩散制程功能要求。

产品详情

 

主要特色：

• 低破片率
• 高产量
• 机器人传送取放
• 表面检查：选配
• 上货载具：石英晶舟
• 下货载具：Manz盒 / Cassette(选项)

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