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超小型激光离子传感器通过内置液晶显示来连续监测空气中的例子级别 本系统是连续并同时多点实时监测超净间内粒子浓度的监视系统。粒子检测采用传感器方式的小型粒子传感器(LPS)进行。 通过内置显示器,可连续监测空气中的例子级别。本体体积小,无需要求安装场地。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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系统测试软件的特点: 测试数据通过标准RS-485输出接口箱计算机传送。专用的测试软件适合宽带网络的服务器系统,也可进行各据点间的通信,最适合建立大规模的测试系统。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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CLEAN ROOM MONITORING SYSTEM 测试对象的微粒子由激光照射时,产生乱散光,由其强度来判定粒子的大小,由乱散光和采样流量来求出粒子的浓度。本系统传感器正是采用这一原理。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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