1200℃单温区三通道混气CVD系统-OTF-1200X-80-I-F3LV
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仪表展览网>产品库>CVD系统
价格: 面议
公司名称:上海升利测试仪器有限公司
地:江苏昆山
发布时间:2019-06-10
上海升利测试仪器有限公司
产品简介
1200℃单温区三通道混气CVD系统-OTF-1200X-80-I-F3LV
产品详情

OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通过CE认证的单温区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用机械泵,供气系统为三路浮子供气系统,其真空度可达到 10-2 torr.

技术参数

高温炉壳体

  • 采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面温度小于55
  • 内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度

功率

2.5 KW

电压

AC 208-240V 单相, 50/60 Hz

加热元件

掺钼铁鉻铝合金(表面涂有氧化锆涂层,使其最大程度延长使用寿命)

最高工作温度

1200

连续工作温度

1100

最快升温速率

≤20

炉管材质和尺寸

石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm

加热区长度

400 mm

恒温区长度

150  mm(+/-1 ) 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系

控温系统

  • PID30段程序化控温
  • 控温仪表操作视频

控温精度

+/- 1

真空密封系统

两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀),最大漏气率6 mtorr/min


真空泵


采用双旋机械泵,机械泵上安装有油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤的最小微粒直径为0.3微米。

防腐型真空计

  • 可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。(点击图片查看详细介绍)

混气系统

  • 三个浮子流量计
  • 三路浮子量程分别为
  • 10-100 cc/min.
  • 16-160 cc/min.
  • 25-250 cc/min
  • 内部安装有一混气罐

尺寸

  • 炉体尺寸: 550 x 380 x 520mm
  • 混气系统尺寸: 600x600x597 mm

净重

60kg

开门断电

为保证使用安全,该电炉为开门断电设计

运输重量

200

质保期

一年质保期(不包括炉管 、加热元件和密封圈的损耗件)

CE Certificate

使用注意事项
  • 炉管内气压不可高于0.02MPa
  • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
  • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
  • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
  • 石英管的长时间使用温度<1100℃
  • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)


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