1200°C三温区九通道混气高真空CVD系统--OTF-1200X-4-III-9HV

OTF-1200X-4-III-9HV是一款CE认证的九通道高真空三温区CVD系统，齐炉管直径为4英寸，它是由九通道质量流量控制器和高真空机组组成，其最高温度可达1200℃，极限真空可达to 10^-5 torr，混气系统可以对1-9种气体进行精确的混气，然后导入到管式炉内部，用来研究气体环境对材料的影响。

技术参数

管式炉

壳体

采用双层壳体结构，并带有风冷，使得壳体表面的温度小于60度
保温材料采用高纯氧化铝纤维，可以环保节能，减少热量的损失
内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命
三个温区，可以独立控温
真空机组和气体流量供气系统位于移动加上，方便移动.

加热元件

Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo,（电阻丝表面涂有氧化锆涂层，使其延长加热元件的寿命）

最高工作温度

1200°C

连续工作温度

1100°C

最大升温速率

≤20°C/min

加热区长度

总温区长度: (880mm, 35" in total)
温区 1: 220 mm + 温区2: 440 mm + 温区 3: 220 mm

恒温区

500mmL (三个温区在同一温度within +/- 1°C) 注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据，请与我公司销售人员联系

炉管尺寸和材质

材质：高纯石英管
100 mm O.D x 92 mm ID. x 1400 mm

温控系统

三个数字精密温度控制器，可设置50段升降温程序，每个温区可以进行独立控温
PID调节与自动调整功能,确保温度稳定在+/ - 1 oC
带有过热和断偶保护
控温仪表操作视频

热电偶

3根K型热电偶

输入电源

AC 208~240V, 单相, 50/60Hz, 功率：7KW

真空配件

标准的真空配件包括
两个不锈钢真空密封法兰与kf 25抽气接口
两个精密针阀和一个1/4“软管接头
6个高温硅胶O型密封圈，最高可承受温度300°C
为了防止热量以热辐射的形式散失，高温损坏密封圈，炉子在加热前必须放入氧化铝管堵
一根KF-40 抽真空波纹管
三个KF-40 快速卸装卡箍
2个KF-25 快速卸装卡箍

高真空机组

结构

壳体尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
最大承载量: 600 Lbs on top
分子泵显示屏:LCD数字显示内装有一Pfeiffer vacuum pump made in Germany

真空传感器

真空传感器有一个kf 25接口
可选：本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。（点击图片查看详细介绍）

控制面板

一键操作：按下"start" 键后，隔膜泵和涡轮分子泵将会启动（隔膜泵先启动等真空度达到10-2mbar后，分子泵自动启动）

系统控制旋转速率：根据腔体内的真空度，系统自动控制旋片泵的旋转速率

抽气速率

N2 33 L/s
He 39 L/s (2340L/minute)
H2 32 L/s

工作范围

1000 mbar to <1E-7 mbar

极限

10^-5 torr (with tube furnace)

输入电源

110V AC or 220V AC可切换的, 50/60Hz

消耗功率

持续时间/最大功率: 100/110Watt

MFC 质量流量控制器

9通道精密质量流量控制器，安装在移动架上，并带有数字显示
3 MFC 范围10 - 1000scc
3 MFC 范围2 0 - 200scc
3 MFC范围3 0 - 10 scc
三个压力表分别安装在底部移动架的质量流量控制系统上，用来检测混合气体的压力

运输信息

炉子尺寸: 550 x 380 x 520mm
质量流量控制器尺寸: 600 x 600 x 700mm
高真空机组尺寸: 600 x 600 x 700mm

重量

净重: 100Kg
运输重量: 350 lb (two pallets)

一年质保期，相关耗材除外如炉管，密封圈，加热元件等易耗件

质保期

CE Certificateed

使用注意事项

炉管内气压不可高于0.02MPa
由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态
进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
石英管的长时间使用温度＜1100℃
对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

Operation Manual

Quick test instruction