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为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法(PECVD), 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命。
操作视频
技术参数
实验机理 |
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产品特点 |
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开启式管式炉 |
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等离子射频电源 |
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真空泵和阀门 |
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质量流量计 |
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细节图展示 |
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外形尺寸 |
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开门断电 |
为保证使用安全,该电炉为开门断电设计
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质保期 |
一年质保期相关耗材除外,如加热元件,密封圈等易耗件 |
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:可组合式等离子增强化学气相沉积装置 :ZL-2011-2-0355777.1 、、 |
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使用注意事项 |
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- 询价产品:4路质子混气管式PECVD系统-OTF-1200X-50-4CLV-PE
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