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此挡板阀属于生产的仪器一般采用手动真空挡板阀与真空系统相连接,主要起到真空泵防回油和CVD系统中控制抽气速率等作用。手动挡板阀具有安装方便、操作安全可靠、使用寿命长和密封效果好等特点。
- 手动真空挡板阀的装卸都采用卡箍,简单方便,可根据使用者需求任意摆放。
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基本参数
型号 |
GD-J(25)B |
GD-J(40)B |
|
压力范围 |
PA |
1*10E-6Pa~1.2*10E-6Pa(波纹管密封) |
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公称通径 |
mm |
25 |
40 |
漏率 |
Pa·L/s |
≤1.3*10E-7 |
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首次维修循环次数 |
次 |
1000 000(波纹管密封) |
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600 000(氟胶圈密封) |
|||
阀体烘烤温度 |
℃ |
≤120℃ |
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开启或关闭时间 |
s |
手操时间 |
|
阀门位置指数 |
—— |
机械指示 |
|
安装位置 |
—— |
任意 |
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周围环境温度 |
℃ |
5~40 |
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注意事项 |
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真空密封法兰 |
数字真空计及流量计 |
真空泵系列 |
管式炉(1-7温区)![]() |