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OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型的PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition),滑动式开启式管式炉系统。此套设备带有300W的等离子射频电源,一个炉管直径为50mm的开启式管式炉(带有真空法兰和连接管道)和机械泵组成。因此这套设备模型可以更新为不同的PECVD 系统。对于有限的经费的情况下来进行材料探索,此套系统极为理想。
技术参数
名称 | 小型滑动PECVD管式炉系统 |
视频 |
宣传视频 |
特点 |
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开启式管式炉
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等离子体射频电源 |
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质保期 |
一年质保期,终身维护,(相关耗材除外,如炉管,密封圈等易耗件) |
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使用注意事项 |
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