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HVMSS-SPC-1-LD是一款磁控溅射头,可安装直径为1英寸的靶材。可与直流、脉冲直流和射频电源相匹配,以至于可以溅射各种靶材(如金属、陶瓷、磁性和非磁性靶材等)。而且高真空的结构设计,可提高镀膜质量。
技术参数
特点
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溅射头
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所需功率 |
DC (最大) 250 W RF (最大)100 W |
最大阴极溅射电流 |
3A |
阴极溅射电流 |
200 - 1,000 V |
可选压力范围 |
~1 mTorr 至1 Torr |
溅射厚度均匀性图
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水冷却
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接头 |
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产品长度 |
14英寸(355.6mm) |
产品重量 |
1.36kg |
倾斜装置 |
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可选配件 |
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质保期 |
一年质保期终身维护 |
应用 |
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- 询价产品:1英寸高真空磁控溅射头-HVMSS-SPC-1-LD
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