名称

小型双通道浮子混气系统--CGM-2F

浮子流量计

两个浮子流量计可以将流量速率控制在16 to 160 mL/min

混气罐

内置一个不锈钢混气罐，可以良好的混气

机械压力表（混气罐）

-0.1-0.15 MPa

关键和阀门

·采用ss304不锈钢

·三管件接口直径为1/4”（接管可选聚四氟或不锈钢）

外形尺寸

340 mm L x 300 D mm x 180 H mm

可选

·CVD或者PECVD

·液相气体发生器

·1200℃微型二通道混气CVD系统--OTF-1200X-S50-2F

·Plasma等离子清洗

净重

约10 Kg

质保期

一年保修，终身技术支持。

特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

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