主要特点

• 可用计算机进行控制，允许您自己编制程序，进行切割。
• 主轴采用3000转大扭矩直流电机，通过控制调速旋钮，使速度在300-3000rpm内可调。
• 旋转台可进行手动或自动控制的水平360°旋转，转动公差±0.01°，操作简单方便。
• 配有8英寸的精密真空吸盘，划片晶圆直径可达200mm。切割时使用Φ220mm载物盘，切割行程可达200mm ×200mm。
• 可根据材料的尺寸选用适合的锯片和夹锯垫。

参数

• 电源电压：220V
• 主轴驱动功率：180W
• 主轴转速：300rpm-3000rpm
• X轴行程：200mm
• Y轴行程：200mm
• Z轴行程：55mm
• 步进电机分辨率：0.0025mm
• 步进电机定位精度：0.01mm
• 可加工划片厚度：0.05mm-2.5mm
• 可切割*大深度：10mm（局部可达30mm）
• 工作台旋转：360°±0.01°
• 玻璃载物盘：Φ220mm
• 真空吸盘：Φ200mm（8″）
• 锯片：划锯片Φ86mm×Φ70mm、切割片Φ100mm×Φ12.7mm

产品规格

尺寸：700mm×530mm×750mm

标准配件

1

夹锯垫

共4套

2

玻璃载物盘

1个

3

树脂陶瓷块

2块

4

全烧结金刚石锯片

（Φ100mm×Φ12.7mm×0.33mm）

1片

5

电镀金刚石锯片

（Φ100mm×Φ12.7mm×0.4mm）

2片

6

金刚石划锯片

（Φ80mm×Φ70mm×0.15mm）

1片

7

石蜡棒

4根

可选配件

• 全烧结金刚石锯片Φ100mm×Φ12.7mm×0.35mm、Φ76mm×Φ12.7mm×0.23mm
• 边缘烧结金刚石锯片Φ100mm×Φ12.7mm×0.4mm、Φ150mm×Φ12.7mm×0.5mm
• 金刚石划锯片Φ80mm×Φ70mm×0.15mm
• TW-1型无油真空泵
• 划锯片夹锯垫

质保期

一年质保期，终身维护