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炉体结构

• 炉体由4个小管式炉组成，采用氧化铝炉管，尺寸为25 OD x 22 ID x 460 Lmm

• 每个加热模块都由独立的温控系统控制，*高温度可达1700℃

• 快速密封法兰，安装有机械真空压力表，进气端安装有浮子流量计，样品可在真空或气氛保护环境下进行热处理

• 可同时放入4个样品，在不同温度下进行热处理

加热元件

硅钼棒

工作温度&恒温区

• 连续工作温度1600℃

• *高工作温度 1700℃(< 1 hrs)

• 恒温区: 30mm(±1℃)，60mm(±5℃)

炉管

• 高纯氧化铝炉管：Φ25X L 460 mm，4根

• 4个浮子流量计

• 快速连接法兰，KF25真空接口

• 真空度：10^-5 torr（采用分子泵）

• 有一真空泵接口（KF25）,可在本公司购买各种真空泵

温度控制

• 采用触摸屏设置温度程序，带有超温和断偶保护

• 4个温区分别由4个独立的温控系统控制

• 4根B型热电偶

• 可用电脑设置和显示温度程序

*高加热速率

10℃/ min

控温精度

±1℃

淬火（可选）

• 此管式炉可升级为立式淬火炉（加上旋转机构和淬火剂罐）

功率，工作电压

6 KW, 208 - 240V单相,  50/60Hz

• 所有元器件（＞24V）都通过UL / MET / CSA / CE 认证，客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CSA认证。

产品尺寸

• 1000 L x 650 W x 640  H mm

一年质保期，终生维护（不包含炉管，密封圈和加热元件）

警告 & 应用注意

• 此管式炉，只可在真空或常压状态使用，炉管内的相对气压不可大于0.02MPa

• 进气流量<200 SCCM ( 200ml/min)

• 向炉管内通气的气瓶上必须安装双级减压阀（可在本公司购买）

• 可选购本公司的供气系统，可用于进行CVD实验