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OTF-1200X-II-4CV-PE-SL 是一款滑动式双温区PECVD 管式炉系统。该系统包含500W等离子源, 80Dx1600L mm 滑动式双温区管式炉, 4通道质量流量供气系统和机械泵机组,这款 PECVD系统可用于生长纳米或石墨烯。
操作视频
技术参数
名称 | 滑动式双温区PECVD系统 | ||
设备型号 | OTF-1200X-50-II-4CV-PE-SL-UL | OTF-1200X-80-II-4CV-PE-SL-UL | OTF-1200X-130-III-4CV-PE-SL-UL |
炉管尺寸 |
2" (50mm) OD x 1.7" ID x 71" L |
3.14" (80mm) OD x 2.83" ID x 71'' L |
5" (130mm) OD x 4.8" ID x 84'' L |
产品优点 |
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等离子发射源 |
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真空泵机组 |
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质量流量计 |
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控温软件 |
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总尺寸 |
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开门断电 |
为保证使用安全,该电炉为开门断电设计
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使用注意事项 |
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