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OTF-1200X-III-HVC是由OTF-1200X-III三温区管式炉,二路质子混气系统和高真空机组组成。其*高工作温度可达1200℃,极限真空度可达 10-5 torr。混气系统可以对两种气体进行精确的混气,然后导入到管式炉内部。
技术参数
OTF-1200X-III管式炉 |
壳体结构 |
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炉管 |
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管堵放置位置 |
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功率 |
7KW |
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额定电压 |
AC 208-240V 单相50/60Hz |
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加热元件 |
Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo(电阻丝表面涂有氧化锆涂层,*大程度的延长加热元件的使用寿命) |
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工作温度 |
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升温速率 |
升温速率: 1~20℃/min 可编程 |
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加热区长度 |
总加热区:900mm (300mm + 300mm + 300mm) |
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控温程序 |
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真空密封 |
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额定电压 |
AC 208-240V 单相, 50/60Hz |
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尺寸 |
1100(L) x 450(W) x 670(H), mm |
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高真空机组 |
结构 |
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抽气速率 |
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工作范围 |
From 1000 mbar to <1E-7 mbar |
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极限 |
<1E-8 mbar (无泄漏) |
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电压&功率 |
110VAC~ 220VAC, 110W |
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质量流量控制系统 |
壳体结构 |
通道1: 0~100SCCM 通道 2: 1~199 SCCM 通道 3: 1~199 SCCM 通道4: 1~499 SCCM
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功率 |
18W |
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额定电压 |
AC 208-240V, 单相, 50/60Hz |
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开门断电 |
为保证使用安全,该电炉为开门断电设计 |
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质保期 |
一年质保期,相关耗材除外,如炉管密封圈加热元件等易耗件 |
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使用注意事项 |
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- 询价产品:1200°C三温区二通道混气高真空CVD系统炉--OTF-1200X-III-HVC
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