开启式管式炉

• 双温区管式炉：两个独立的温控系统分别独立控制两个温区
• 加热区长度：温区1:200mm, 温区2:200mm
• 炉管材料：高纯石英
• 炉管尺寸：外径: 60 ×内径: 54×长: 760 mm
• 温度曲线图(两个温区设置在800℃时所测，仅供参考） 
• *高工作温度：1200℃（<1hr)
• 连续工作温度：1100℃
• 控温精度：+/-1℃
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真空密封

• 配有不锈钢密封法兰，上面安装有不锈钢截止阀和机械压力表
• 进气端法兰接口为Φ6.35卡套接头，出气端法兰接口为KF25接口
• 法兰密封圈采用水冷却，使用时需要通入冷却水，可在本公司选购循环水冷机
• 真空度：10E-2 torr（采用机械泵），10-E5 torr(采用分子泵)

坩埚移动机构（转轮式法兰）

• 一根铠装热电偶通过左端法兰通入到炉管内部，并与坩埚相连接(图1)
• 通过步进电机驱动使坩埚移动，并和热电偶和坩埚一起移动，实时监测样品的温度
• 进气端法兰转轮式法兰（图2）
• 可同时在转轮系统中放入4个坩埚，可交替将放入4种材料的石英坩埚自动送入到石英管中（可在真空状态或气氛保护状态进行运作）
  

坩埚移动控制

• 通过一步进电机控制坩埚移动的速度和位置
• 可控制坩埚*小移动位移为1mm
• 坩埚*大移动距离为200mm
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防腐型数显真空计

• 配有一数显防腐型真空计
• 当气压在10mbar以上时，不需因测量气体种类不同而进行系数转换
• 对于气体的压力检测具有较高的精确度和重复性
• 因为传感器上镀有涂层，所以具有较好的抗腐蚀性
• 测量范围：3.8x10-5 -1125 Torr

混气系统

• 此套设备中配有一2路混气系统
• *大输出功率：18W
• 工作温度：5-45℃
• *大气压：3×106Pa
• 精度：±1%FS
• 质量流量计量程：
• 1:0-100sccm
• 2:1-199sccm
• 可根据客户要求选购1-5路供气系统

产品尺寸

2400L×600W×1300mm H

质保

一年质保期，终生维护（不包含炉管，密封圈和加热元件）

使用注意事项

• 炉管内气压不可高于0.02MPa
• 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
• 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态
• 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
• 石英管的长时间使用温度＜1100℃
• 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）

应用注意事项

• 此款管式炉具有多种用途
• 热蒸发：把蒸发料放在坩埚里，通过移动坩埚来精确找到所需要的蒸发温度
• HPCVD：和热蒸发相似，可通入反应气体与蒸发的物料反应后再沉积
• 可用于制作多层二维晶体