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1200X-80-III-F3LV是一款CE认证的三温区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用机械泵,它是由管式炉,三路浮子流量供气系统组成,其真空度可达到 10-2 torr。
技术参数
壳体结构 |
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功率 |
5 KW |
电压 |
AC 208-240V单相, 50/60 Hz |
加热元件 |
Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo |
*高工作温度 |
1200℃ |
连续工作温度 |
1100℃ |
*大加热速率 |
≤20 ℃/min |
石英管& 密封法兰 |
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加热区长度 |
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温控系统 |
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控温精度 |
+/- 1℃ |
真空密封系统
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真空泵 |
采用双旋机械泵,机械泵上安装有进口的油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤的*小微粒直径为0.3微米
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数字式真空显示计 |
可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换
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气体流量计和压力表
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阀门 |
四个不锈钢阀门安装在浮子流量供气系统侧面上,用于控制气体的流量 |
外形尺寸 |
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开门断电 |
为保证使用安全,该电炉为开门断电设计
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净重 |
约 90 Kg |
运输重量 |
245 lbs |
质保期 |
一年质保期,相关耗材除外,如炉管,密封圈,等易耗件 |
使用注意事项 |
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- 询价产品:1200℃三温区三通道混气CVD系统--1200X-80-III-F3LV
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