特征

• 全自动X-Y-Z位置控制系统（精确度±2μm）能够进行高通量样品硬度测量，每批样品数量可达16个
• 6通道样品放置台包含在测量系统中可用来盛放样品进行高通量测量
• Z轴包含一显微镜可实现自动对焦，从而对样品测量位置进行精确定位，显微镜中包含3个不同放大倍数的镜头
• 底座采用天然石材质，从而保证设备的稳定性，防止温度以及震动对设备的影响
• 可用于测量样品维氏硬度、马氏硬度、弹性模量以及厚度超过1μm的体材料或涂层的蠕变性能
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X-Y-Z平台

• 全自动电动X-Y-Z平台
• *大移动距离：180mm L x 150mm W
• 样品*大高度：130mm
• 精确度：±2μm
• 可选：对于利用高通量方法进行测量，本公司可根据客户样品尺寸对样品放置台进行定制，从而确保放置台尺寸在移动距离范围内。

压头负载

0.1-2000mN（分辨率＜400nN）

压痕深度

*大150μm（分辨率＜150pm）

显微镜

• 放大倍数：4*、20*以及40*
• 图片尺寸（视野）：1600 x 1200μm,320 x 240μm 以及320 x 120μm

软件控制系统

分析软件能够显示测量位置的可视图像，实时测量的图象显示以及实时测量的参数

• 依据标准进行测量（在定负载、定加载时间条件下进行探头压入，之后在一定卸载时间条件下进行卸载完成测试）
• 根据ESP方法进行测试
• 测试周期可进行编程
• 测量结束自动生成统计数据以及SPC图标
• 可生成3D图形演示
• 对压头形状进行偏差纠正
• 通过光学测量进行维氏硬度（HV）以及努氏硬度（HK）的测定
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工作站

• 16通道样品放置台允许仪器对多个样品进行自动测量
• 精确的X-Y移动平台保证位置的精确度≤0.5μm
• 测量底座采用天然石材质
• 用户使用便捷的桌面式设计
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净重

90kg

认证

根据ISO 14577-1以及ASTM E 2546标准进行测试

质保期

一年保质期，终生维护

应用领域

• 金属合金
• 涂料、硬质材料涂层、合成薄膜（PVD、CVD）
• 电镀涂层（装饰或功能涂层）
• 医疗生物应用领域的各类材料
• 电子元器件、封装接线等
• 等离子涂层系统