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技术参数
名称
1100℃大口径双温区管式炉--SLJ1100-100
主要参数
最高温度:1100℃
最大升温速率:10℃/min
电压:208-230VAC 单相
最大功率:8KW
炉体结构
.采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使表面温度低于70℃
.高纯氧化铝纤维作为炉膛材料
.采设备中配有2个泡沫陶瓷管堵,设备使用时必须把管堵塞入到炉管两端(保证恒温区和密封圈的密封性)
.该炉可作为退火或扩散炉,最大可用于8”晶片放在对应石英舟中
炉管尺寸
₵100×1300mm
真空密封&接口
.采用铰链式法兰和O形密封圈加上机械泵可使真空度达到10-2Torr
.可选购一套温度测试装置(铠装热偶、补偿导线和温度仪表),用于测试炉管内部的温度
.左侧法兰:真空压力表、不锈钢针形阀和1/4”宝塔嘴接头
.右侧法兰:kf40真空接口,方便连接到kf40适用的波纹管、泵和kf40挡板阀
温控系统
.PID控制和自整定调节功能
.设备除了安装有一个控温仪表,同时还安装有辅助检测仪表
.智能化30段可编程控制
.控温精确度:±1℃
加热元件
掺钼铬铝合金
热偶
K型
注意事项
.炉管内气压不可高于0.02MPa
.石英管的长时间使用温度<1100℃
.当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
.进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
.由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
.对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等
保修期
一年保修,终身技术支持
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- 询价产品:1100℃大口径双温区管式炉--SLJ1100-10-I SLJ1100-10-I
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