名称

1100℃双管三温区管式炉（石墨烯生长）

主要参数

·最高工作温度 1100°C ( < 1 hour )

·正常工作温度: 200~1000°C

·最大升温速率& 降温速率: 10°C/min

. 电压：单相 220V AC, 50/60 Hz

. 最大功率：12KW

壳体结构

·  采用双层壳体结构，并带有风冷，使得壳体表面的温度小于.  < 70°C.

·  保温材料采用高纯氧化铝纤维，环保节能，可以最大程度的减少热量的损失.

·  加热元件: NiCrAl电阻丝

·  仪器中包含两个石英管塞，设备在加热前必须放入炉管内，防止热量以热辐射的形式散失

·  如果使用内管进行薄膜的生长，那么最大可在8英寸的基片上

双重石英管结构

·  高纯石英管

·  内炉膛表面涂有进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命

·  外管尺寸:279 O.D x 269 I.D x 1300mm Length (11" O.D x 10.6" I.D x 48" L),两端打开，可以连接法兰

·  内管尺寸:216 OD x 206 IDx 750 mm Length (8.5"OD x 8.1"ID x30"L),一端封闭另一端连接到气体入口和出口

加热区&温度控制

·  三个加热区：（总加热区长度：1230mm）

·  温区1: 410mm  (16")

·  温区2: 410mm  (16")

·  温区3: 410 mm (16")

·  恒温区长度: 900mm( +/- 5℃ ,三个温区设置同样的温度)

·  三个温区都采用PID方式控制温度，可设置30段升降温程序，控温精度为+/- 1℃

·  热电偶：Omega K型铠装热电偶

加热区

·  总加热区长度： 900 mm (36")

·  三个温区: 300 mm + 300 mm + 300mm (12" per zone)

·  恒温区长度: 500 mm（ 如果三个温区在同一个温度) 

控温系统

·  三个精密温度控制器，采用PID方式控温，并可设置30段升降温程序，每个温区可以进行独立控温

·  热电偶: 三根 K型omega原装热电偶，每个温区各一根

·  控温精度: +/- 1°

真空密封法兰

·  仪器中包含有一对不锈钢真空密封法兰，采用硅胶密封圈密封 

·  真空度可以达到10^-2 torr（用机械泵）

·  左侧法兰：包括 化学汽相淀积进气口和冷却气体in&out端口

·  右侧法兰: KF40真空接口和， KF40真空阀门直接于KF-40波纹管和真空泵相连接，（如想泵和KF-25接口相连接，需要另购一个KF-40转KF-25接头）

保修期

一年保修，终身技术支持

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