名称

1100℃大口径单温区管式炉

主要参数

最高温度：1100℃

最大升温速率：20℃/min

电压：208-230VAC 单相

最大功率：8KW

加热区：600mm

炉体结构

.采用双层壳体结构，并且有4个冷却风扇安装在炉体内部，使设备表面温度小于60℃

.炉炉膛材料采用高纯氧化铝纤维

.采设备中配有2个泡沫陶瓷管堵，设备使用时必须把管堵塞入到炉管两端（保证恒温区和密封圈的密封性）

炉管尺寸（可选）

.石英管：152 OD x 143 IDx 1300L mm

.石英管：216 OD x 208 IDx 1020L mm

真空密封&接口

.一对不锈钢铰链式真空水冷法兰

.法兰底部安装有冷却风扇，保证设备使用时法兰温度低于70℃

.进气端法兰上安装有机械压力表，进气接口为Φ6.35卡套式接口，抽气端法兰接口为KF25

.真空度：10-2Torr(采用双极旋片式机械泵)

温控系统

.PID控制和自整定调节功能

.设备除了安装有一个控温仪表，同时还安装有辅助检测仪表

.智能化30段可编程控制

.控温精确度：±1℃

加热元件

掺钼铬铝合金

热偶

K型

注意事项

.炉管内气压不可高于0.02MPa

.当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态

.进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

.由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

保修期

一年保修，终身技术支持

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