名称

双炉体滑动PECVD系统＆循环手套箱

产品结构

·  两个炉体在一个滑轨上面，和通过对炉体的滑动达到对样品快速加热和快速冷却的效果

·  连续工作温度:1100℃

·  两个炉体都可以设置30段升降温程序

真空系统

·  采用VRD-16的双旋真空泵, 极限真空10E-3 Torr 

·  KFD25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连.

·  管内真空可达10E-2 Tor

等离子射频电源

·  输出频率: 13.56 MHz ±0.005% 

·  最大射频功率: 500W 

·  匹配: 自动匹配

·  噪音: <50 dB. 

·  冷却: 空气冷却. 

·  输入电源: 208-240VAC, 单相, 50/60Hz

质量流量计

·  四个精密的质量流量计(精度1.5% ) ：数字显示，自动控制.

·  MFC1范围:  0~100 sccm 

·  MFC2和3:   0~200 sccm  

·  MFC4范围:  0~500 sccm 

·  一个混气罐，底部装有泄废液口. 

·  4 个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制4种气体.

·  进气口: 4个1/4NPS. 

·  出气口: 4个 1/4NPS. 

·  采用PLC控制流量计，通过触摸屏进行控制

炉管&密封法兰

·  高纯石英管，尺寸50mm O.D x 44mm I.D x1800 mm L

·  配有一套不锈钢密封法兰，并且上面安装有真空计

循环手套箱

·  手套箱尺寸：780mm(L) x 700mm(W) x 650mm(H)

·  带有除水系统：保持水含量< 2 ppm

·  一真空法兰在手套箱的左边，与PECVD系统的石英管相连接

注意事项

·  炉管内气压不可高于0.02MPa

·  由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

·  当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态

·  进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

·  石英管的长时间使用温度＜1100℃

·  对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等

保修期

一年保修，终身技术支持

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