石墨烯专用生长炉由滑动开启式真空管式炉，混气系统，真空及压力系统等组成。通过滑动户体来实现快速的升降温﹔配置不同的真空系统来达到理想的真空度﹔同时通过三路高精度质量流量计控制不同气体。

主要用途和适用范围:

用于石墨烯生长、研发的专用炉，也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验。

技术参数:

炉体结构

双层炉壳间配有风冷系统，有效保证外壳表面温;

日本技术真空吸附成型的上等高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好炉子底部装有一对滑轨，移动平稳

炉子可以手动从一端滑向另一端，实现快速的加热和冷却支撑两端安装油压缓冲器

炉盖可开启，可以实时观察加热的物料

电源

电压:AC220V 50/60Hz;功率:4kw

炉管

高纯石英管，高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数极小

尺寸:40/60/80/100*1200mm

法兰及支撑

sUS304不锈钢快速法兰，通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空一个卡箍就能完成法兰的连接，放、取物料方便快捷

可调节的法兰支撑，平衡炉管的受力支撑

包含进气、出气、真空抽口针阀，KF密封圈及卡箍组合

加热系统

加热元件采用上等合金丝0Cr27AI7Mo2，表面负荷高、经久耐用加热区长度:410mm

恒温区长度:200mm

工作温度:≤1150℃*高温度:1200t℃升温速率:10℃/min

*高温度:1200℃升温速率:10℃/min

温控系统

温度控制采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能30段升降温程序

测温元件:N型热电偶恒温精度:±1℃

混气系统

三路质量流量计:数字显示、气体流量自动控制内置不锈钢混气箱，每路气体管路均配有逆止阀管路采用不锈钢管，接口为中6卡套

每路气体进气管路配有不锈钢针阀通过控制面板上的旋钮来调节气体流量流量规格:0~1SLM

流量精度:±0.5%

真空系统

采用双极旋片真空泵，真空度可达5x10-1 Torr

数显式真空压力表

可选高真空系统及真空计，压力控制系统等

标准配置

主机1台，密封法兰1套，“O"”型圈4个，石英管1根，管堵4个，绀蜗钩1把，

说明书、合格证、保修卡各1份

可选配件

混气系统中、高真空系统，各种刚玉、石英绀蜗，石英管，计算机控制软件，无纸记录仪，氧含量分析仪等。