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本公司生产的椭偏仪适用于大学和科研院所,具有高精度和完整的测量功能。仪器的状态调整、参数设置、数据采集和处理,均通过计算机自动完成。从红外至紫外的宽广光谱区,波长连续可调,入射角度在20度到90度内连续可调。产品主要有两个系列:
1.全自动高精度椭圆偏振光谱仪(ELLIP-SR型)-专业型
主要适用于科研院所的信息光电子功能薄膜、体材料的光学性质和结构特性研究,可被研究材料种类包括:金属和合金、元素和化合物半导体、绝缘体、超导体、磁性和磁光材料、有机材料、多层薄膜材料等。在测量中,可按研究条件同时对入射角和波长进行自动精细扫描,增加研究的灵活性,便于用户获得更多的光谱信息进行数据分析,提高研究的质量和可靠性。该光谱仪的性能指标达到国际同类技术的先进水平 。
主要技术参数:
波长范围 250-830nm(可按需拓展)
光源 氙灯
入射角范围 20-90度
波长分辨率 1.0nm
入射角范围 20-90度
入射角精度 0.001度
椭偏参数精度 D±0.02度;Y±0.01度
光学常数精度 优于0.5%
膜厚准确度 ±0.1nm
测量方式 同步
定标方式 自洽、绝对
探测器 光电倍增管
主要用途:
1. 各种功能材料的光学常数测量和光谱学特性分析;
2. 测量薄膜材料的折射率和厚度;
测量对象包括:金属、半导体、超导体、绝缘体、非晶体、超晶格、磁性材料、薄膜材料、光电材料、非线性材料;
测量光学常数:复折射率的实虚部、复介电常数的实虚部、吸收系数a、反射率R.
2.全自动单波长椭圆偏振光谱仪(ELLIP-ER型)-普及型 。
本公司研制的固定波长可变入射角椭圆偏振光谱仪,广泛适用于大学教学和工业生产领域,具有很高的性价比,为一款普及型的光谱测试仪器。
主要技术参数:
波长 650nm
光源 半导体激光器
入射角范围 20-90度
测量模式 反射
测量方式 旋转起偏和检偏器,自动完成信号测量
实测光学常数种类 复折射率 复介电常数 吸收系数 反射率
膜厚精度 ±1nm
系统定标方式 自洽、绝对定标
主要用途:
1.各种功能材料的光学常数测量和光谱学特性分析;
2.测量薄膜材料的折射率和厚度;
测量对象包括:金属、半导体、超导体、绝缘体、非晶体、超晶格、磁性材料、光电材料、非线性材料;测量光学常数:复折射率的实虚部、复介电常数的实虚部、吸收系数a、反射率R.
- 询价产品:椭偏仪 ELLIP-SR型ELLIP-SE型
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