技术参数X 轴

　测量范围: 100mm 或 200mm

　分辨率: 0.05µm

　检测方法: 线性编码器

　驱动速度: 0 - 80mm/s

　测量速度: 0.02 - 5mm/s

　 移动方向: 向后

　直线度: (0.05+1L/1000)µm*

(0.5µm/200mm: 测量范围为200mm的型号)

　倾角范围: ±45º

Z2 轴 (立柱)

　垂直移动: 300mm 或 500mm、动力驱动

　分辨率: 1µm

　检测方法: ABSOLUTE 线性编码器

　驱动速度: 0 - 20mm/s



检测器

　范围／分辨率: 800µm / 0.01µm, 80µm / 0.001µm,

8µm / 0.0001µm (使用测头选件

时，最大可达2400µm)

　检测方法: 无轨／有轨测量

　测力: 4mN 或 0.75mN (低测力型)

　测针针尖: 金刚石、90º / 5µmR

(60º / 2µmR: 低测力型)

　导头曲率半径: 40mm

　检测方法: 差动电感式

基座尺寸 (W x H): 600 x 450mm 或 1000 x 450mm

基座材料: 花岗岩

尺寸 (W x D x H): 756 x 482 x 966mm (S4 型)

756 x 482 x 1166mm (H4 型)

1156 x 482 x 1176mm (W4 型)

766 x 482 x 966mm (S8 型)

766 x 482 x 1166mm (H8 型)

1166 x 482 x 1176mm (W8 型)

重量 140kg (S4, S8 型)

150kg (H4, H8 型)

220kg (W4, W8 型)

*L 为驱动长度 (mm)



评估能力: SURFPAK-SV

评估轮廓

　P (主轮廓), R (表面粗糙度轮廓), WC, WCA, WE, WEA, 　　

　DIN4776 轮廓、包络残余线、粗糙度 motif、波形 motif

评估参数

　Ra, Rq, Rz, Ry, Rz(JIS), Ry(DIN), Rc, Rp, Rpmax, Rpi, Rv, Rvmax, Rvi,

　Rt, Rti, R3z, R3zi, R3y, S, Pc (Ppi), Sm, HSC, mr, δc, plateau ratio,

　mrd, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, Δa, Δq, λa, λq, Sk, Ku, Lo, Lr, A1,

　A2

　粗糙度 motif 参数: Rx, R, AR, SR, SAR, NR, NCRX, CPM

　波形 motif 参数: Wte, Wx, W, AW SW, SAW, NW

分析图表

　ADC, BAC1, BAC2、功率谱图、自相关图、Walsh 功率

谱图、Walsh 自相关图、 倾斜分布图、局部峰值分布图、

参数分布图

滤波类型 2CR-75%, 2CR-50%, 2CR-75% (相位校正),

　2CR-50% (相位校正), 高斯-50%

截止波长*

　λc: 0.025mm, 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm

　fl: 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm

　fh: 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm

取样长度 (L)*

　0.025mm, 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm

取样长度

　倾斜补偿、R 平面 (曲面) 补偿、椭圆补偿、抛物线补偿、

　双曲线补偿、二次曲线自动补偿、 多项式补偿、

　多项式自动补偿

* 可在0.025mm 至最大移动长度间指定任意长度。