利用微小的X射线束流来进行微小的异物分析
虽然从微小的异物得到的信号量不随照射异物的X射线束流大小而改变，但是从底材得到信号随着束流的减小而减小，相对来说，从异物得到的信号跟底材的比增强。于是，微小的X射线束流在进行微小的异物和样品时，发挥着重要的作用。

方便简单的多点分析和成像
利用多彩的扫描方法，自动的测量样品的表面，简单明了的表示出2维或者3维的元素分布，膜厚组成分布等的成像。

 鲜明的样品画像和定性分析(对比表示)
通过光亮的照明和倍率切换，可以得到扩大90倍的画像，可以清楚的观察到微小的部分，通过鼠标和操纵杆，可以自由自在的移动样品，利用标有准直器尺寸的十字线，来不断的确认和调整需要分析部分的位置。
通过电镀部分和材质的能谙对比，确认曲线重合部分的元素的同时，正确的设定测量条件。自动完成分析报告
分析测量结束后，点击输出报告的按键，便自动的启动报告编辑软件。自动的表示出测量条件，样品图像，能谱，X射线强度，分析数据等。以此为基础进行编辑，可以简单的完成数据详细、具有说服力的分析报告。

自动完成分析报告

如果以A来表示含有异物分的能谱、以B来表示正常
部分的能谱、那么A-B表示的差就是能谱差异。中心
线在边界的正方向表示出来的曲线是异物的成分，
在负方向表示出来的曲线是素材的成分。利用这个
能谱的差异，可以简单的同定出异物。