筛选
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主要特点 |
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技术参数 |
一.电子光学系统
分辨率:15nm
放大倍数:20X-15000X
图像:二次电子像(可选:背散射电子探测器)
加速电压:1kv-20kv
电子枪类型:钨灯丝
聚光镜:电磁透镜2
物镜:电磁透镜1
消像散:8极消像散器
二.显示系统
图像像素与扫描速度
搜索(320*240):12幅/秒
观察(800*600):2幅/秒
照相1(1280*960):4幅/分钟
照相2(2560*1920):1幅/分钟
自动聚焦,自动消像散,自动亮度、对比度