特性：

1、检出限低、重复精度高，以及测量适用性广，因此特别适用于研究和开发使用

2、配备真空测量室和高性能硅漂移探测器，能够实现准确测量，尤其是对轻元素的测试

3、通过可编程 X、Y 和 Z 轴进行自动测试

4、准直器和滤波器可切换，因此可适用于各种材料和测试条件

应用：

涂层厚度测量

1、原子序数从Na（11）开始的轻元素镀层，可测量厚度低至纳米级

2、铝镀层和硅镀层

材料分析

1、测定宝石的真伪与原产地

2、常规材料分析和取证

3、高分辨率恒量分析