CM501用于半导体工厂的CM501无尘室气体监视器

CM501用于半导体工厂的CM501无尘室气体监视器
随着LSI集成度的提高，以及大型FPD生产的推动，清除无尘室中氨气和酸性气体等气体污染物显得日益重要。为满足此要求，监视气态污染物，并定期检查化学过滤器的化学性能十分重要。
CM501无尘室气体监视器通过使用高灵敏度的扩散吸取式采样器和离子色谱仪，连续测量氨气和酸性气体。扩散吸取式采样器吸收纯水中的氨气/酸性气体，然后通过离子色谱仪进行分析。CM501无尘室气体监视器实现了无污染在线气体监视。还可选用多光束型(16点)。

CM501无尘室气体监视器

CM501产品宣传样本(英文)

CM501技术规格(英文)

特性

氨气测量灵敏度达到0.01µg/m³。
酸性气体(氯化氢，磷酸，二氧化硫等)测量灵敏度同样可达到0.02µg/m³。
采用的离子色谱法是高可靠的分析方法。
采用独特的扩散吸取式采样器，样气的污染降至最低。
洗涤液消耗最小，且仅需每个月更换一次洗涤液。
在工作站的曲线图中进行监视。
标配过滤器生命周期预测软件。
最多可测量16点的样气(选配件)。

规格

测量

氨气或酸性气体(阴离子分析: 氯化氢，二氧化硫等)

气体采样方法

扩散吸取式采样器系统

分析方法

离子色谱法

测量量程

0～50µg/m³

最小检测限制

0.01µg/m³(氨气)，0.02mg/m³(酸性气体)

测量周期

最小周期35分钟

测量点

一点或最多16点(选配件)

标定

使用标准溶液标定，自动标定

外部接点输入

测量流路切换信号，外部报警信号，外部报警复位信号

外部接点输出

异常浓度信号，系统报警信号，测流信号，重测信号，液体泄漏信号，报警蜂鸣信号，报警发光信号

电源

100～120V AC，50/60Hz或200～240V AC，50/60Hz

重量

约170kg(不包括化学溶液，工作站和纯水系统。)

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