CG1100-RTP氧气分析仪

CG1100-RTP氧气分析仪
CG1100-RTP氧气分析仪阿美特克公司为半导体工业提供的扩展系列产品。CG1100-RTP氧气分析仪特别为工业上的快速热处理（RTP）晶片制作系统所开发，满足了在RTP工具上使用的特殊需要，处于领导地位的半导体工具制造商已经将其集成进他们最新的RTP和Mini-Batch系统。CG1100-RTP氧气分析仪在百万分之一的浓度检定氧气污染物，提高了过程产量。

概述

CG1100-RTP氧气分析仪检测PPM浓度的氧气污染物，提高了过程产量。保护过程不受氧气污染物影响，一旦发现氧气背景在可接受的水平上，停止吹扫，可实现最大生产量。

主要特色

在很宽的操作范围迅速响应。您的系统将会在0.1 ppm到100%氧气的操作量程快速响应。CG1100-RTP分析仪可用于检定氧气污染物和监测净化循环。
容易与工具控制器和数据采集系统集成。CG1100-RTP分析仪配置了一个RS-232端口和两个RS-485端口。配置器软件用于运行参数的初始设置和接受用户提供的软件，以与工具控制器有效集成。可用模拟数字输出和I/O报警。
电子流量计和VSO比例电磁阀。同时运转可自动控制流量，在一系列样品输入/输出压力下使用时，电动控制样品流速。
氧化锆传感器。不同于其他传感器技术，您的系统零氧气读数时不会失效，从而一直保护您的系统。
可选择使用System 2000软件。对Windows 95/98/2000/NT/XP的版本，提供图形用户界面，增强了连接和过程监测。
不占空间。8" x 8" x 8"立方体容纳所有电子装置，RS-232端口，（2）RS-485端口，I/O端口和孤立的模拟输出（4至20 mA）。