波长范围： 250到1000纳米
波长分辨率： 1nm
光斑大小：100μm （ 4倍） ， 40μm （ 10倍） ，
30μm （ 15x ） ， 8μm （ 50x ）
基板尺寸：高达20毫米厚
可测量厚度范围： 2nm至25微米
测量时间：最低2毫秒
精度：优于0.5 ％
重复性 ： <2 Ǻ

System Configuration:
· Model: MSP100RTM

· Detector: CCD Array with 2048 pixels

· Light Source: High power DUV-Visible

· Automatic Stage: Black Anodized Aluminum Alloy with 5”x3” net travel distance and 1µm resolution, program controlled

· Motorized Z focus drive and X-Y-Z joystick

· Long Working Distance Objectives: 4x, 10x, 15x(DUV), 50x

· Communication: USB

· Measurement Type: Reflection/Transmission spectra, Film thickness/refractive index and feature dimensions

· Computer: Intel Core 2 Duo Processor with 200GB Hard drive and DVD+RW Burner plus 19” LCD Monitor

· Power: 110– 240 VAC /50-60Hz, 3 A

· Dimension: 16’x16’x18’ (Table top setup)

· Weight: 120 lbs total

· Warranty: One year labor and parts