英国TAYLOR HOBSON圆柱度仪TR565
立柱

                                       300mm立柱                   500mm立柱              900mm立柱

(1) 立柱行程：                       300mm                       500mm                       900mm

(2) 全程直线度误差：              0.3µm/300mm             0.3µm/500mm             1.0µm/900mm

(3) 任意100mm直线度误差：   0.15µm/100mm            0.15µm/100mm           0.3µm/100mm

(4) 立柱对主轴的平行度：       0.5µm/300mm              1µm/500mm                2µm/900mm

(5) 位置控制：                       ±5µm                        ±5µm                          ±10µm

(6) 移动速度：                     0.25-20mm/秒(移动和测量)，0.5-5mm/秒(接触)

(7) 长度测量：                             0.03µm/mm + 1.5µm

(8) 位定位分辨率：               0.25µm

(9) 采样数据点：                 蕞多200,000(可选)

 

水平横臂

                                      径向直线度单元(RSU)                机动径向臂(MRA)

(1) 横臂材料：                     陶瓷                                        铝

(2) 行程                             200mm                                  200mm

(3) 全程直线度误差：              0.25µm/200mm                  不适用

(4) 任意行程的直线度误差： 0.125µm+0.000625µm/mm      不适用

(5) 对主轴的垂直度：              1µm/200mm                       不适用

(6) 移动速度：                   0.25-15mm/秒(移动)                0.25-15mm/秒(移动)
                                           0.25-15mm/秒(测量)                   不适用
                                           0.5-5mm/秒(接触)                     0.5-5mm/秒(接触)

(7) 过中心的行程                 25mm                                     25mm

(8) 位置控制：                   ±5µm                                     ±5µm

(9) 径向测量：                  0.05µm/mm + 1.5µm                  0.05µm/mm + 1.5µm

(10) 位定位分辨率：          0.25µm                                     0.25µm

(11) 蕞小移动量：             0.05mm                                    0.05mm

(12) 采样数据点：             蕞多200,000(可选)                     不适用