Bruker 能谱系统 XFlash®

QUANTAX 能谱系统
EDS Analysis for SEM and TEM (Energy Dispersive Spectrometry)

XFlash^® 5000系列硅漂移（SDD）探测器，最新版ESPRIT软件系统
定性和定量的最佳解决方案

硅漂移SDD探测器(Silicon Drift Detector)

QUANTAX EDS系统是一个模块化的系统，具有高度的灵活性，可非常方便的与各种微区分析仪器搭配使用。QUANTAX系统的ESPRIT软件是专门针对用户的实际需求及反馈而设计，该软件对布鲁克高性能的硬件模块进行控制并实时监控探测器的当前工作状态。ESPRIT配备纯粹无标样定量和有标样定量，也兼备独特的无标样定量和有标样定量相结合的分析方法。高性能、高可靠性、完全免维护的XFlash®硅漂移（SDD）探测器与混合脉冲处理技术相结合，保证在各种不同分析条件下都能得到最佳的分析性能。软件包含如实时谱图分析，彩色扫描（ColorScan）和全息面分布（HyperMap）在内的各种分析功能。该系统是当前市场上速度最快，性能最可靠的EDS系统。卓越的技术、智能化的解决方案、注重细节的设计和精湛的德国原厂制造工艺，是QUANTAX EDS系统高品质的保证。

XFlash®5000系列硅漂移探测器具有高脉冲负载能力，同时具有优异、稳定的能量分辨率（优于123eV）。其优化的电子陷阱即使在低加速电压条件下对电镜也没有任何干扰，软件包含最全面的原子数据库（包含布鲁克独有的N线系）。XFlash® 5000-10具有业内最好的能量分辨率—123eV。更重要的是，该分辨率指标在输入计数率100,000cps内保持不变，并作为实验室安装验收的重要指标之一。通常，液氮致冷型Si(Li)探测器只能在输入计数率1,000-5,000cps内保持分辨率不变。

QUANTAX CrystAlign

Fully-integrated high-speed EBSD analysis system

e–Flash¹⁰⁰⁰EBSD探头(Electron Back Scatter Diffraction)

e–Flash¹⁰⁰⁰EBSD探头集高速、高灵敏度、高灵活性和高可靠性于一身，探头的移动和参数设置都可以通过计算机软件系统完成，硬件连接只需一根电源线和两根信号传输线即可实现。

最小漂移效应

某些样品或SEM样品台容易出现漂移现象，因此，在应用过程中，应尽量缩短采集时间来提高花样质量。布鲁克的EBSD探头的采集速度高达630花样/秒（4x4binning），800花样/秒（8x8binning）。pattern streaming的独特设计使得采集速度与样品中包含的花样数独立，因此，该方式保证了最快的采集数度，尽可能的减小样品污染和漂移现象。

高速、高精度

基于e–Flash¹⁰⁰⁰的快速记录性能，它具有优秀的角分辨率，在高速测量时也能保持优秀的角分辨率。e–Flash¹⁰⁰⁰在640x480分辨率模式下对当前样品的精细结构进行深入分析时，仍然能获得210 Patterns/s的采集效率。

原位可调的探头

e–Flash¹⁰⁰⁰探头竖直方向可调，无论SEM高压处于开启还是关闭状态都可实现。在采集设置过程中，它对信号的优化和调整工作距离非常有帮助。在电镜样品台不移动的前提下，可实现扫描的范围高达100mm²，对电镜切换到低工作距离和高放大倍数没有任何影响。在EBSD和EDS同步检测时，该功能更具优势。

前置背散射/后置背散射探头（可选）

前置背散射（FSE）和后置背散射（BSE）组件可以根据客户要求选择性的配置到e–Flash¹⁰⁰⁰探头上。它可进一步提高检测器的配置，并对更高效、更广泛的EBSD分析提供更多有用的信息。

安全操作保证

蓝色LED指示灯显示EBSD探头伸入和推出SEM样品腔。集成的触发器可实现10mm/s的速度立即将探头推出。同时磷屏更换非常简便，可由用户自行完成。

其他主要功能

数据再分析功能–花样再标定速度高达16,000点/秒;信号助手;校准助手;无缝式集成;极图（PF）;反极图（IPF）;花样质量分布;相（Phase）分布;反极图（IPF）分布;欧拉（Euler）分布;EBSD和EDS同步高速采集等等。

Bruker 演示视频连接
application of EBSD

Applications of Multi-Channel Detectors for EDS on SEM 1

Applications of Multi-Channel Detectors for EDS on SEM 2

EDS with SDD for S_TEM

Introduction of Bruker EBSD on SEM

Introduction of Bruker e-Flash EBSD Detectors

Introduction of Combined EBSD and EDS System on SEM

Multi-Channel Detectors for EDS on SEM

Overview of Bruker EDS detectors

Product Video Sample 1

Quantitative Analysis with SDDs on TEMs using Esprit

TEM based EDX Analysis using Bruker_s X-Flash SD Detector

Two Application Examples of Combined EBSD and EDS Analysis o

Two Application Examples of Combined EBSD and EDS Analysis on SEM

Bruker 能谱系统
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