MKS流量计 1179A

MKS 是全球最著名的先进生产工艺控制设备供应商之一，其产品广泛地应用于各种半导体器件生产, 平板显示器, 光学储存介质, 玻璃镀膜, 光电产品等生产设备及制药和医学成像设备。 MKS 前瞻性的创新开发，推动其产品一直处于全球技术领先地位。 MKS 的电源，流量测量, 控制（流量计，压力计）和复杂气体相关的工艺监控技术，改善了设备完好率和产品成品率，提高了生产产量和产品性能。 MKS 产品起源于我们的压力测量和控制核心技术，延伸到材料递送, 气体和薄膜成分分析,静电荷控制,工艺控制,信息管理,电源和反应气体发生器及真空技术。MKS主要提供有：气体压力及流量测量和控制, 射频 /直流 /微波电源发生器及测量工具, 氟离子 /臭氧反应气体发生器, 真空产品, 气体分析仪, 静电控制及信息和控制技术等产品。

MKS流量计：

•π系列金属密封压力不敏感数字质量流量控制器

•ALTA® 系列金属密封数字质量流量控制器

•金属和弹性密封型热质量流量控制器

•以压力为基准的质量流量控制器

•实时流量校验器

•流量比例控制器

•质量流量计电源，读数输出及附件

MKS压力计：

•电容式度压力（高精度压力计、常温型工艺测量压力计、加热型工艺测量压力计、高温型工艺测量压力计、差压式工艺测量压力计）

•压力传感器

•工业用传感器

•压力开关

•压力控制子系统

•显示器及电源

气体分析：

•傅立叶变换红外光谱分析仪

•气体分析(残余气体分析RGA、工艺过程检测、大气压下气体分析、工艺过程监控软件)

•泄漏检测(氦质谱检漏仪)

•远程等离子系统(反应室清洗、硅片上工艺)

•臭氧产品系列

等离子电源：

•RF等离子电源(中频、超高频)

•DC等离子体电源

•匹配网络

•测试设备

•RF和DC配件

真空技术：

•不锈钢真空管道和连接件

•单级、多级、特殊真空阀门

•加热带和加热型阀门

•工艺元件

•真空规及传感器