Gatan - 样品预制系统

Center Frontier 是由计算机控制的单平台全自动抛光的样品预制系统，它包括对IC和磁头样品预制，应用例如: SEM，TEM，SCM， SIMS ，正面delayering 及PEM，在硅片上，冲模和封装时进行截面和平行面的抛光处理。一前一后设计的一个带CCD摄像头的显微镜和放大倍率达到9000X的成像系统若结合独家的亚微米抛光技术使用户更容易达到目标位置，更有清晰度及能更好地进行制程监控。使用计算机控制系统，能更好地利用现有的加工工序，发展新定义的工序，储存图像和测量数据，并能与其它部门或工作点进行信息共享。独家的成像处理，自动目标获取，边缘检测，Sagitta在线抛光眼模块，及精确的角度控制到-+/-0.1度（EAC）所有这些功能使设备的精度控制达到+/-0.1um。此外，为符合正面delayering 时要求之超高水平精度，机台X、Y轴准确度可达0.003 度，进行独一无二的正面抛光能力。