世界首创光学准直器 , 光束小于50um , 最小为20um
X-射线光学聚焦,可加强光强度,比传统式准直加强30至100倍,准确度加强10倍,测量时间则大幅减少80%。
配备ZOOM功能,图像可放大30至300倍。
先进FP运算功能,适合最多6层金属共30个不同元素测量,更可用较少标准片。
CXR型可升级具备wafer handler专门用于晶圆制造测试。
具备全自动XYZ轴工作平台,精度可达 +/- 5um。
为微细面积、超薄镀层、快速测试必然的选择。
主要应用:
PCB、IC substrates、Lead frame、被动组件、电镀组件、半导体组件的多层金属成份、厚度测量,如:无铅锡膏(Sn - Cu,Sn – Cu – Ag)成份、超薄 immersion金属(Au / Ni / Cu) ... 等等。
光电通讯组件、 微波RF产品 、 光纤及optical filter上之各层金属膜厚, 如 : Au, Pt, Ti, Ni ...等等。
CXR series
Model VXR