筛选
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种类
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产品
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应用
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流量测量及控制
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质量流量控制器
质量流量计
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For precision gas flow control for vacuum process
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压力测量
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Baratron®薄膜电容式高精度压力传感器
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测量真空舱及抽气管道的工作压力
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压力传感器/质量流量控制器电源和显示仪
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氦气检漏仪
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PICO® 手提式氦气检漏仪 (7.7公斤)
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直空舱检漏
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残余气体分析仪
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实时检查工艺时真空舱的气体成分
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真空零件
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不锈钢真空管道和连接件
真空阀门 (加热功能可选) 蝶阀(用于下游压力控制) |
一般真空用部件
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离子发生器
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ASTRON®离子发生器
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用NF3 等离子清洗PECVD腔体, 减少维护时间, 增大产能
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臭氧发生器
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SEMOZON™臭氧发生器
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用于晶体硅电池片清洗及去除有机物
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电源
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直流电源
射频电源及阻抗匹配器 |
PECVD等真空设备离子源上使用
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