MKS - 先进真空工艺设备零件和系统
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价格: 面议
公司名称:岱美有限公司
地:上海
发布时间:2015-05-25
岱美有限公司
产品简介
MKS - 先进真空工艺设备零件和系统
产品详情
美国万机仪器有限公司是全球最著名的先进生产工艺控制设备供货商之一, 其产品广泛地应用于各种半导体器件生产、 平板显示器、光学储存介质、玻璃镀膜、光电、制药和医学成像设备。我们为MKS香港、中国及菲律宾的授权经销商
 
产品包括:
种类
 
产品
应用
流量测量及控制
质量流量控制器
质量流量计
 
 
For precision gas flow control for vacuum process
压力测量
Baratron®薄膜电容式高精度压力传感器
 
测量真空舱及抽气管道的工作压力
压力传感器/质量流量控制器电源和显示仪
氦气检漏仪
PICO® 手提式氦气检漏仪 (7.7公斤)
 
直空舱检漏
残余气体分析仪
 
实时检查工艺时真空舱的气体成分
真空零件
不锈钢真空管道和连接件 
真空阀门 (加热功能可选
蝶阀(用于下游压力控制)
 
一般真空用部件
离子发生器
ASTRON®离子发生器
NF3 等离子清洗PECVD腔体减少维护时间增大产能
臭氧发生器
SEMOZON™臭氧发生器
用于晶体硅电池片清洗及去除有机物
电源
直流电源 
射频电源及阻抗匹配器
PECVD等真空设备离子源上使用
 
 
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