MOCVD/ VPE的石墨承座(susceptor)是LED行业重要的一环, 本设备是一台全自动以盐酸气体清洗承座上的III-V族膜层并可对其先进行预处理, 节省成本外还令工艺更稳定, 满足日趋严谨的工艺要求。

 

优点:

 

最高工艺温度可达1200°C并兼容氢气及盐酸气体

极佳的重复性: 没有湿式清洗由水气等引致的工艺差异
湿式清洗会造成承座损伤, 干式清洗令承座有更长的寿命 

一台干式清洗设备足以支持五台或更多的MOCVD/VPE设备

更佳的清洗质量

 

全自动控制及安全互锁

高产能- 干式清洗只需两小时, 比湿式清洗的二十四小时大大缩短, 另外不需要烘干水分, 大大节省时间与成本