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产品简介:
美国AEP 公司专注于表面测量技术开发与应用, 其生产的台阶仪和光学轮廓仪, 厚度、粗糙度、孔深 …等三维空间尺寸测量,并适用于多种产业,例如 : 芯片封装、MEMS 、电路板、 LED、LCD。同时AEP亦开发出实时应力分析及镀膜后的应力测量设备, 以满足高新行业产品微日渐小化与高精度的要求.
NanoMap 1000WLI 光学轮廓仪(形貌仪)特点:
非接触式测量高度、深度、粗糙度等
° 高精度
° 快速测量
° 简易的操作界面
° 两种模式满足不同应用:
Phase Shift Mode (PSI): 平滑表面测量
White Light Scanning Mode (WLI): 粗糙表面测量
° 同时可选台阶仪和光学轮廓仪的功能,节省空间, 台阶仪更备有高精度压电陶瓷扫瞄
° 测量数据兼容功能强大的SPIP 分析软件
° 长寿命LED 光源(>15年)
° 标配
° 另有全自动型号
150mm×
NanoMap 8001 大尺寸生产用
规格 |
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RMS 重复性 |
0.5 nm (WLI模式) |
0.02 nm (PSI模式) |
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垂直分辨率 |
< 1 nm |
视场 |
100 nm - |
像素 |
200 万 |
垂直扫瞄范围 |
最大 |
应用:
台阶高度
表面粗糙度
平整度/ 曲率半径
二维和三维形貌轮廓
薄膜厚度
二维薄膜应力测量
表面磨损分析、焊球凸点(Solder bump)
- 询价产品:AEP NanoMap 1000WLI 光学轮廓仪 NanoMap 1000WLI
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