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zui后,表面粗糙度和表面形貌测量可以用比探针式轮廓仪成本更低的仪器来进行。 Profilm3D具有3倍於于其成本仪器的次纳米级垂直分辨率, Profilm3D 同样使用了现今zui高分辨率之光学轮廓仪的测量技术包含垂直扫描干涉(VSI)及相移干涉(PSI)。
每台Profilm3D带有直观的粗糙度,表面形貌和台阶高度的测量软件。所有常见如ISO 25178 所规范的粗糙度参数都支持,也包括軟件功能用于形貌分析, 如形状去除和波长过滤,都包含在基本Profilm3D软件。对于更进阶的功能,Filmetrics提供了我们的合作伙伴TrueGage的TrueMap软件可进一步处理 Profilm3D数据, 这当然也与业界其他标准分析软件兼容。
为什么需要额外支付每位使用者所需要的功能?每台Profilm3D都已标配自动化X/Y平台包含tip/tilt 功能。
每台Profilm3D配备了一个10微米阶高标准片,可达0.5%准确度。另我们还提供具有100nm,2微米以及4微米等多阶高标准片。
The Profilm3D以10倍物镜优异地提供更宽广的2毫米视野, 其数位变焦功能有助于缓解不同应用时切换多个物镜的需要。 更进一步减少总体成本。 本司也提供手动或自动物镜切换炮塔等配置可弹性运用于需使用多物镜应用之样。