MicroSense Probe 电容式位移传感器 4810

精密电容式位移传感器

非接触式高分辨率近距离位移测量

MicroSense 公司（前身是ADE Technologies, KLA_TENCOR的子公司）开创了高辨率电容式位移传感器的先河，致力于为客户提供以艺术级别性能的高精度非接触式微位移传感器。
MicroSense Probe 电容式位移传感器特性
1.完全非接触式电容式微位移测量—最准确的电子感应技术, 无损样品测量
2.最优化的近距离测量—测量距离在10微米到5毫米
3.高准确性，高灵敏性测量，最高精度可达0.5nm。
4.可探测任何可传导性、接地的测量目标—表面是否抛光以及材质对测量准确度无任何影响
5.用途广泛: 金属薄片厚度测量,振动测量,工作台垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)测量,精密马达转轴偏振测量(Axial, Radial, Spindle runout),精密仪器工作平台定位，设备自动聚焦测量(微影设备，原子力显微镜，光罩探测，图像确认，LCD生产设备…)

测量表（Gauge）型号

电容式位移传感器
4800系列 8800系列 5800系列 6800系列 6360厚度测量系统

4800系列 以最优化的线性和稳定性著称, 一款多功能测量设备

8800系列 以拥有最好的线性和稳定性系统著称，测量带宽高达20K HZ,纳米级分辨率，超低
噪声完美的伺服定位反馈系统设计

5800系列    以高动态测量著称--高分辨率测量，可达100Khz 带宽测量，可靠性测量甚至达触
                     地物例如气动转子和马达

6800系列    拥有皮米级别噪声分辨率

Mini系列 迷你压缩型传感器测量系统

6360系列 非接触式，高精度测量硅片、CD、DVD、光盘厚度

测量探头(Probe)形状

电容式位移传感器

圆柱型测量探头 45°倾角测量探头矩型测量探头 直角型测量探头

圆柱型测量探头 探头直径0.5mm 到5mm 可选

45°倾角测量探头可紧贴圆柱形被测物测量

矩型测量探头 测量马达及轴向转动物时可提供最大分辨率

直角型测量探头 用于测量受限空间测量

设备应用

定位测量系统应用  远程位置调节器的伺服反馈系统应用

间距和位移测量应用    空间测量及检测  轴向位移测量

转动测量系统应用  马达精度和转轴转动测量  转轴测量计精度校准测量  直线和平面平台精

                                     度测量

厚度测量系统应用  磁性介质厚度测量光盘厚度测量

自动聚焦和归零测量应用   半导体硅片测量

振动测量系统应用   样品台精度振动测量 转轴振动精度测量 主动性防震系统反馈测量

设备性能及主要参数

量程 ±25µm 到±1000µm满量程测量

分辨率 优于2 nm (r.m.s.) @ 1 kHz

带宽 1 kHz, 5 kHz, 20 kHz, 100 kHz 可选

MicroSense电容式位移传感器
MicroSense电容式位移传感器

传MicroSense Probe 电容式位移传感器
MicroSense Probe 电容式位移传感器
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