筛选
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工作台 | X座标行程 | 150mm | 200mm | 250mm | |
Y座标行程 | 100mm | 100mm | 150mm | ||
Z座标行程(调焦用) | 90mm | ||||
X,Y座标数显分辨率 | 0.001mm | ||||
轴向测量精度 | (3+L/100)um | ||||
投影屏 | 投影屏尺寸 | 直径315mm | 直径415mm | ||
投影旋转范围 | 0~360度 | ||||
旋转角度数显分辨率 | 0.01度 | ||||
平面及表面轮廓精度 | 0.08% |