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-135℃水汽捕集泵 -135℃ Water vapor cryopump
应用原理:
在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽,但其抽除残余气体的能力低,时间长,而且所有残余气体还是工件的污染源,从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。
深冷泵的工作原理:将一个能到-120℃以下的制冷盘管,放置在真空室中或油扩散泵的泵口,通过其表面的低温冷凝效应,迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间(可缩短60-90%的抽气时间)、获得洁净的真空环境(真空度可提高半个数量级,达到10-8 Torr、10-5 Pa)。
在实际应用当中,根据所放的位置不同可以分为两类(见图):
1、水汽捕集器
它的制冷盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜上下室内等部位。适用于塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较大的场合。盘管需要有加热除霜装置,使盘管每次开门之前恢复到常温,避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜,影响下次抽真空。
2、低温冷阱
放在油扩散泵的泵口,高阀以下,它主要功能是防止油扩散泵返油,同时也可以加快抽速、提高真空度。由于系统处于真空状态,无需除霜装置。
根据需要,二者可以分别安装也可以同时安装.
本公司研发生产的-135℃深冷水汽捕集泵,采用单台压缩机、自动复叠制冷方式、进口名牌压缩机及制冷配件、环保混合型制冷剂生产,替代液氮,节约成本。具有制冷速度快、效率高、温度低、维护方便等特点,其性能指标在国内处于领先地位,达到甚至超过国际先进水平。
主要的性能特点
1、快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60-90%;
2、降温迅速,3分钟内制冷到-120℃,最低可到-150℃;
3、2分钟热气除霜,迅速回温,5分钟可再降温;
4、一台设备可设计两路负载输出;
5、进口压缩机,环保混合型制冷剂;
6、触摸屏+PLC=完善的自动化控制;
7、具有两路负载入口和出口温度显示、本机温 度显示;
8、当待机温度到达后有指示灯提示,可以开始制冷;
9、除霜温度自由设定;
10、具有水温温度、排气温度显示;
11、缺水、水温过高报警;
12、压缩机排气过高、压力过高保护;
13、电源断电、缺相报警;
14、可本地、远程控制自由转换;
15、RS485计算机数据接口,计算机可读取温度数据及控制。
-135℃水汽捕集泵 -135℃ Water vapor cryopump
型 号 TH-135-3P TH-135-5P TH-135-7P TH-135-10P TH-135-12P TH-135-15P
压缩机功率(KW) 2.8 4.6 6.3 8.5 10.1 12.3
工作温度(℃) -120℃至-150℃
抽气速度(l/s) 30600 51000 73000 101000 153000 250000
制冷量(W) 300 500 1200 1800 2500 3500
冷凝管表面积(m2) 0.15 0.3 0.5 0.7 1.0 2. 0
冷凝管长度 8m,φ6mm 10m,φ10mm 12m,φ12mm 14m,φ16mm 24m,φ16mm 40m,φ16mm
预冷时间(min) ≤30 ≤30 ≤30 ≤30 ≤40 ≤40
降温时间(min) ≤5 ≤5 ≤5 ≤5 ≤6 ≤7
除霜时间(min) ≤3 ≤3 ≤3 ≤3 ≤3 ≤3
再降温时间(min) ≤5 ≤5 ≤5 ≤5 ≤6 ≤6
适用油扩散泵径(mm) ≤300 ≤500 ≤800 ≤1000 双路输出 双路输出
冷却方式 风冷、水冷(t≤30℃) 水冷(t≤30℃) 水冷(t≤30℃) 水冷(t≤30℃) 水冷(t≤30℃)
适用腔体直径(mm) ≤900 ≤1300 ≤1500 ≤1700 ≤2000
冷凝盘管的制作
根据设备的实际情况,我们可以为您制作不同形状的冷凝盘管。
输入、输出的接口
冷凝盘管从真空腔内穿过腔壁时,由于管道温度与腔壁温差较大,如果直接焊接,冷量将会有较大损失,腔壁结霜严重。这就需要一个长约20厘米的薄壁不锈钢管做成的绝热装置来解决,它可以做成活口(见图),也可以不用密封垫,直接焊接到真空腔壁。
- 询价产品:低温,低温泵,低温冰箱,低温冰柜,低温冷阱,低温冷凝泵 天寒
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