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产品介绍 | ||||||||||||||||||||||||
性能指标: 光学系统规格
Y轴遇到测量范围13nm 测量器分度值:0.01nm 测量台转动范围不限:NO limit 测量台刻度盘分度范围:0°~360° 测量台刻度盘之分度值:1° 测量台刻度盘游标读数示值:6’ 测量精度: 仪器示值误差:± (4+L/15)μ m 仪器示值误差:包括测量误差和系统误差 注:测量地点温度变化20℃ ±3℃,L--被测件长度 |