X61-1112K-1型数控精密研磨机

产品介绍：

产品用途：
该机主要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体、光电玻璃及其他硬脆材料的双面高精度研磨。
精度指标：
l 主机精度：
1. 下研磨盘端跳: 0.04mm
2. 上下研磨盘平面度：0.015mm
3. 太阳轮径向跳动：0.08mm
4. 齿圈径向跳动：0.15mm
l 加工精度（四个修平器研后）
1. 一致性 0.008mm
2. 平面度 0.004mm
3. 平行度 0.005mm

产品特点：

主要特点及优点：
1. 采用三个伺服电机同步拖动，变速范围更广，运动精度更高，响应速度更快，能适应不同研磨材料及研磨工艺的要求，实现了软启动、软停止，调速稳定，冲击小；
2. 太阳轮与内齿圈同步抬升，满足了取放工件及调整游轮啮合位置的要求；
3. 下研盘主轴采用交叉滚子轴承支撑，既可承受轴向力、径向力，又可克服倾覆力矩，保证了下研盘的静态和动态的精度；
4. 上下研磨盘采用斜齿轮传动，运转平稳；
5. 控制系统中采用DSP、Web-Link、彩色终端等先进技术，系统的响应速度更快、更，并具有远程监控，远程维护功能；
6. 压力采用电—气比例阀与拉力传感器闭环反馈控制，压力过程实现了线形转换；
7. 安装了可行走式地脚，方便了设备搬移；
8. 采用集中润滑装置，各相对运动表面、齿轮啮合部位都可得到充分润滑，大大提高了整机的使用寿命；
9. 上盘采用新的“浮动”连接装置，解决了错盘问题；
10. 在研磨盘系统中采用了具有创新性的循环冷却结构，以达到冷却下研盘的目的，防止因热变形而影响下研盘的精度，此项功能还兼顾了用户把研磨机作为抛光机使用的要求（选配组件）。

技术参数：

研磨盘尺寸mm	Φ1122ΧΦ390Χ6
游星轮参数(英制)	齿数Z=200 模数DP12
游星片数量	5片
小研磨厚度	0.50mm/φ150 mm 0.40mm/φ125mm 0.30mm/φ100mm 0.25mm/φ75mm
大研磨厚度mm	30mm
理想研磨直径	125/25片
大研磨直径	φ350 mm
下研磨盘转速	0～60rpm
上下研磨盘驱动电机	15kW AC380V 1460rpm
齿圈驱动电机	4kW AC380V 1420rpm
太阳轮驱动电机	1.5kW AC380V 1410rpm
气源	0.5～0.6MPa
外形尺寸（长× 宽 × 高）：	2350mm× 1550mm × 3230mm
重量	约5000Kg