MM-400/800系列

新的300 mm x 200 mm阶段

MM控制器背包界面

舞台照明,X / Y和Z的数据可以作为一个接口连接到毫米控制器外部计算机运行E-Max软件进行数   和系统控制                                                                                                                              

所有的白光LED照明系统

非接触式测高技术对通用Epi-Illuminator FA头TTL激光房颤。

TTL激光AF(通用型)
本激光AF系统有0.5秒聚焦速度与重复性µm高达0.5。

重点援助(FA)
新开发的split-prism集中援助(FA)提供了鲜明的模式允许聚焦在z轴测量。
测量错误由于景深的差异不同的目标是蕞小化。

应用程序:

半导体包、焊接位置、循环高度,FPD面板(LCM)MEMS晶圆级CSP,HDD滑块