筛选
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规格型号 | Inspector FQ | QuickInspector |
测量范围(X-轴) | 400-3500mm | 0.06-300mm |
(Y-轴) | 400-1750mm | 0.06-300mm |
(Z-轴) | 50-600mm | |
最大允许误差 (E1单轴精度) (E2平面精度) (E3空间精度) | (2.5+L(mm)/120)µm | (0.25+L(mm)/100)µm |
(2.9+L(mm)/100)µm | (2.9+L(mm)/75)µm | |
(4.5+L(mm)/75)µm | ||
物镜 | 0.1X-100X | |
分辨率 | 0.2µm | |
工作台承重 | 150kg | 20kg |
定位速度 | 1000mm/s | |
加速度 | 10mm/s2 | |
电源 | 3X400V/N/PE | 115/230V |
频率 | 48-62Hz | 48-62Hz |
功耗 | max.2500VA | 1VA |
仪器重量 | 1500-6000kg | 300kg |
精度保证环境条件 | 20℃±2 k Δ=1 k/h m≤150kg | |
湿度 | 40-70rel. | 40-70rel. |
空气指标 | max.0.05mg/m3 | max.0.05mg/m3 |
温度 | 10-35℃ | 10-35℃ |